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    作者:超级管理员 浏览量:798 来源:本站 时间:2022-05-18 11:06:06

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      每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

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      洁净区与控制区的建筑装修应便于清洗、维护,表面要平整,不应有颗粒性物质脱落。根据规范要求,室内装修一般应满足下列基本要求。

      无尘车间的围护结构和室内装修材料宜选用气密性良好,同时在温度、湿度等变化时,本身变形小的材料;墙壁和顶棚表面应光洁平整、不起尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗。为了使无尘车间的建筑表面尽量少积灰、易清扫,应在建筑结构造上避免或减少凹凸面,墙面与地面、墙面与顶棚、墙面与墙面的相接处也不宜成一般的直角,宜做成半径大于或等于50mm的圆角。壁面涂层的色彩要和谐、雅致、素淡,以便于显现壁面上的污染物。同样,地面也应做到平整、无缝隙、耐磨、耐腐蚀、耐冲击、不积聚静电,宜除尘清洗。

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      为了避免技术夹层内的微粒、微生物污染无尘车间,应对其墙面和顶棚抹灰(应为高级抹灰)。如果需要在技术夹层内更换高效过滤器,夹层内的墙面、顶棚还应刷上涂料罩面。送风道、回风道、回风地沟的表面装修应与整个送风、回风系统相适应,并易于清扫消毒。

      门窗与内墙面宜平整,尽量不留窗台。外窗的层数和门窗的构造要根据室外空气的污染程度,室内外设计温度、湿度,室内外压差、以及房间的洁净度等因素综合考虑,务求其构造能对空气和水蒸气起到密封作用,使污染物不易从外部侵入,并能避免内表面结露。为了防止洁净区内部的交叉污染,室内不同洁净度房间之间的内门、内窗以及隔断处等的缝隙均宜密封。门窗造型要简单,不得设置门槛,以便清扫。

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